유에스비 어딨니?

반도체 공정내에서 Photo Resist 즉 PR은 Positive PR을 많이 쓰고있습니다. 그이유는 다음의 게시물에서 설명하였습니다. [반도체] - Photo Resist(PR) 그렇다면 Negative PR은 반도체 공정내에서 잘 사용하지 않고있다면, 어느 부분에서 많이 사용하고 있을까요? 바로 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 분야에서 주로 사용되고 있습니다. 이번 게시물에서는 MEMS 과정중 사용되는 Negative PR( 그중에서 SU-8 )을 살펴보겠습니다. Negative PR(SU-8)의 모습입니다. 병에 담겨져있습니다. 이제 4인치의 Wafer 위에 Negative PR을 부어보겠습니다. 끈적임이 보이시나요? Negative PR은 Positive P..