유에스비 어딨니?

[반도체공정] Oxidation(산화) (1)[반도체공정] Oxidation(산화) (2) 에 이어서 앞서 알아보았던 Oxidation을 하는 실제 과정을 알아보겠습니다. 우선 Oxidation에 사용되는 장비의 이름은 Furnace라 합니다. 이러한 Furnace의 종류에는 Vertical furnace와 Horizontal furnace가 있습니다. 장비가 상당히 크기때문에 많은 자리를 차지하게 됩니다. 따라서 회사같은 주요시설에는 자동화, 면적 최소화등을 위해 Vertical furnace를 사용합니다. 살펴볼 furnace는 horizontal furnace(수평 퍼니스)입니다. 세로 방향에서 본 furnace의 모습입니다. 저 끝의 벽같은 곳을넘어 쭉 horizontal furnace가 계속됩니..